6104型氦质谱仪检漏仪
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-14 1:12:55 * 浏览: 5
中国于1960年代初开始开发和生产氦质谱检漏仪。从那时起，仪器的开发和生产有了飞速的发展。有十多种家用仪器已正式投产。 6104型氦质谱仪检漏仪的性能和指标描述如下：它是1800型单级磁偏转型仪器，是改进型此类仪器的基础。特点是：试件，节流阀，质谱仪室和真空系统串联，使用水冷扩散泵，电子电路稳定，灵敏度为6.7倍，10 ^ -8Pa。升/秒由于增加了预排气阀，放气阀，控制阀和前阀，并附有标准泄漏孔，因此使用和维护都很方便。框图如图13-35所示。 （1）技术性能灵敏度为6.7倍，10 ^ -8Pa.L / s，反应时间和清除时间不超过3s。 （2）仪器的主要组成部分是质谱仪室：质谱仪室位于磁体中心，包含阴极，电离室，加速电极，离子门，抑制栅，离子收集器，潘宁真空压力表，电试管和高电阻。磁场强度H = 115kA / m，离子加速电压300V〜400V（可调）。真空系统：前级泵是2X-1别墅式机械泵。主泵是K-70型三级水冷油扩散泵。泵的入口具有水冷式机械疏水阀，以防止油蒸气进入质谱仪腔室。该仪器配有水压继电器，在水被切断后，它可以自动报警并切断扩散泵的电源。系统上有五个阀和一个前真空箱，因此该仪器可以在扩散泵连续工作时更换细丝和试件。控制阀可以调节质谱仪腔室的抽速，以调节仪器的灵敏度。
上一条: 真空密封橡胶概述
下一条: 冷凝水泵设计的计算步骤
关闭返回