磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 6104型氦质谱仪检漏仪
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6104型氦质谱仪检漏仪

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-14 1:12:55 * 浏览: 1
中国于1960年代初开始开发和生产氦质谱检漏仪。从那时起,仪器的开发和生产有了飞速的发展。有十多种家用仪器已正式投产。 6104型氦质谱仪检漏仪的性能和指标描述如下:它是1800型单级磁偏转型仪器,是改进型此类仪器的基础。特点是:试件,节流阀,质谱仪室和真空系统串联,使用水冷扩散泵,电子电路稳定,灵敏度为6.7倍,10 ^ -8Pa。升/秒由于增加了预排气阀,放气阀,控制阀和前阀,并附有标准泄漏孔,因此使用和维护都很方便。框图如图13-35所示。 (1)技术性能灵敏度为6.7倍,10 ^ -8Pa.L / s,反应时间和清除时间不超过3s。 (2)仪器的主要组成部分是质谱仪室:质谱仪室位于磁体中心,包含阴极,电离室,加速电极,离子门,抑制栅,离子收集器,潘宁真空压力表,电试管和高电阻。磁场强度H = 115kA / m,离子加速电压300V〜400V(可调)。真空系统:前级泵是2X-1别墅式机械泵。主泵是K-70型三级水冷油扩散泵。泵的入口具有水冷式机械疏水阀,以防止油蒸气进入质谱仪腔室。该仪器配有水压继电器,在水被切断后,它可以自动报警并切断扩散泵的电源。系统上有五个阀和一个前真空箱,因此该仪器可以在扩散泵连续工作时更换细丝和试件。控制阀可以调节质谱仪腔室的抽速,以调节仪器的灵敏度。